压阻式压力传感器好不好?-买道传感网官网
提问者:不知道
时间:Thu Oct 05 08:31:51 CST 2017
Thu Nov 16 15:09:49 CST 2017
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压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。其优点是:① 频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量; ② 体积小(例如有的产品外径可达0.25毫米),适于微型化; ③ 精度高,可达0.1~0.01%; ④ 灵敏高,比金属应变计高出很多倍,有些应用场合可不加放大器; ⑤ 无活动部件,可靠性高,能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环 境。其缺点是温度影响较大(有时需进行温度补偿)、工艺较复杂和造价高等。缺点有:① 温度特性差,由于压阻式压力传感器是用半导体材料制作的,受温度影 响较大,因此,在温度变化大的环境中使用时,必须进行温度补偿。② 工艺复杂,对研制条件要求高而严格,尤其是扩散杂质、烧结、封装工 艺等比其他传感器要复杂的多,因而成本也相对要高。
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