测量位移的传感器有哪些，其测量方法又是什么-买道传感网官网

提问者：匿名

时间：Wed Oct 21 19:03:53 CST 2020

Wed Oct 21 19:04:23 CST 2020

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很多都可以测量，需要确定的是直接的测量还是间接的测量。光电和超声波是直接测量，光栅和磁致伸缩是间接的测量。

直接测量，按原理分为：1.激光干涉仪:通过干涉形成的条纹的变化来测量波长级的位移。细分可以实现亚波长分辨率测量，现在超精度可以达到PM；2.光栅尺:工业上常用的高精度位移测量。3.激光测距仪:时间飞行法是用光在空气中传播的时间乘以光速来测量位移。适用于大距离测量，精度不如激光干涉仪高，约为mm或um级别。需要在被测物体表面反射光线，或者安装反射靶；4.电容传感器:传感器与被测部分形成电容腔，电容值与距离有关。适用于小距离、高精度，最高精度可达纳米级别；5.超声波传感器:工业常用。6.灯光开关:工业上常用，一般用作开关。电感传感器等等。