我想了解一下压阻式压力传感器有哪些应用领域?-买道传感网官网

提问者：匿名

时间：Thu Jan 28 18:26:22 CST 2021

Thu Jan 28 18:27:22 CST 2021

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　　压力传感器有很多种类型，但应用最广泛的是压阻式压力传感器，它价格很低，该传感器采用集成工艺将单晶硅膜片上的电阻条集成成硅压阻芯片，并将电极引线抽出。

　　压阻式压力传感器也称为固态压力传感器。它们不同于需要通过弹性敏感元件间接感知外力，而通过硅膜片直接感知要测量的压力的粘性应变计。硅膜片的一侧为连接待测压力的高压室，另一侧为连接大气的低压室。

　　硅膜片一般设计成圆形，直径与厚度之比约为20-60。四个P杂质电阻条扩散到n型定域圆形硅膜片中并连接成一个全桥。其中两个位于压应力区，另外两个位于拉应力区。硅柱面敏感元件也沿硅柱面的某一晶体平面的某一方向扩散，形成电阻条。两个抗拉应力条和另外两个抗压应力条构成全桥。

　　压力传感器广泛应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等领域。压力是航空航天工业中的一个关键参数，静、动压力、分压以及整个压力场的测量都要求精度高。压阻式传感器是实现这一目的的理想传感器。

　　在测量飞机喷气发动机中心压力时，其工作温度在500℃以上。波音客机的空气数据测量系统中使用了与之匹配的硅压力传感器，其精度可达0.05%。在缩小尺寸的风洞模型试验中，可以在风洞的入口处和发动机进气风道模型上密集安装压阻传感器。

　　单个传感器的直径仅为2.36 mm，固有频率高达300 kHz，扩散硅薄膜薄至10微米，可测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球的压力。这是一个用来测量脑压力的传感器的框图。

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