介绍一下薄膜式压力传感器是什么样子的？-买道传感网官网
提问者：匿名
时间：Thu Nov 19 17:15:24 CST 2020
Thu Nov 19 17:15:55 CST 2020
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薄膜式压力传感器由螺纹不锈钢底座、压敏芯片、a /D转换电路、放大电路、电连接器五部分组成，薄膜式压力传感器的一个主要特点是受温度的影响较小。当温度变化100℃时，其温度性能远优于其他类型的压力传感器。由于溅射过程使惠斯通电桥与弹性不锈钢膜片形成良好的匹配，不需要任何粘接剂，其年稳定性可优于0.1%FS/年，压力敏感元件材料是汽车零件特殊弹性不锈钢、和嵌缝材料焊接的。
薄膜式压力传感器来自与材料本身的应力有关的电阻，使其度因子比金属高出数百倍。n型硅的电阻变化主要是由于其三个导带谷对的位移，导致载流子在不同移动度的导带谷之间重新分布，从而改变了电子在不同流动方向上的迁移率，还有由于有效质量的变化与导带谷形状的变化有关，这种现象变得更加复杂，并引起等效质量变化和空穴转换。
薄膜式压力传感器通常通过引线连接到电桥上，敏感核心没有外部压力，电桥处于平衡状态(称为零)。当薄膜式压力传感器被按压时，芯片电阻发生变化，如果在电桥上加一个恒流或恒压电源，电桥就会输出与压力相对应的电压信号，这样传感器的电阻变化就会被电桥转换成压力信号输出。
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